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Neue Einbautechniken für Millimeterwellenbauelemente

Research paper by J. Freyer, M. Tschernitz

Indexed on: 01 Nov '93Published on: 01 Nov '93Published in: Electrical Engineering



Abstract

Der Entwurf und die Herstellung von GaAs Millimeterwellen-Modulen zur Leistungserzeugung mit aktiven Zweipol-Bauelementen werden vorgestellt. Anstelle eines konventionellen Einbaus mit Quarzringen und Goldbändern wird das Bauelement monolithisch in eine Struktur aus semiisolierendem GaAs-Substrat integriert. Die Herstellung wird mit Hilfe der Photolacktechnologie vorgenommen, wodurch eine hohe Reproduzierbarkeit der parasitären Reaktanzen erreicht wird. Module mit IMPATT Dioden als aktive Buelemente wurden im Frequenzbereich bis zu 110 GHz mit Erfolg eingesetzt.